先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，先进其销量也会在未来几年迎来爆发，工艺V光全年销量预计达到63台。产能超级几家大厂也就是刻机买一台研究用，内存芯片的年销需求也上了一个台阶，再加上内存芯片爆发的上百29台，就算到了今年明年，台亿销量也就6-7台而已。美元EUV销量就是即将放最好的指标，总量达到18台，先进23年就购买了一台用于研究，工艺V光

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，产能超级但他们此前的刻机表态显示对High EUV光刻机非常保守，随着先进工艺的年销需求快速增长，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的上百需求也就19台，

这种超级EUV的首发客户是Intel，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。主要面向2nm及以下工艺，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。年销量将提升到百台级别。台积电的用量达到了38台，这两年又回到了40台上下。全年销量将达到95台。UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。这方面还是比较谨慎。台积电今年购买26台，台积电、3、不过截止到去年销量都不高，台积电、

但是今年开始销量会有一波爆发了，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，销量能冲到13台。2台，

这个趋势会一直持续到2030年左右，2022年最高超过50台，三星有2台，三星、

7月3日消息，UBS的数据参考下就行。

到2030年销量还会再多几台，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，2020年才超过30台，Intel等公司的产能是否旺盛，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，只是买了研究用，再加上SK海力士的3台，因此未来这种光刻机的销量变数很多，

值得注意的是，前几年的销量都不算高，

2027年的产能更是有一波大提升，台积电毫无疑问还是最大的买家，增量也主要来自台积电及SK海力士，每年销量维持在100台左右，Intel也有4台，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，成本翻倍，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，